光學原子力顯微鏡一體機

產品優勢

◆ 光學金相顯微鏡和原子力顯微鏡一體化設計，功能強大

◆ 同時具備光學顯微鏡和原子力顯微鏡成像功能，兩者可同時工作，互不影響

◆ 同時具備光學二維測量和原子力顯微鏡三維測量功能

◆ 激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體，結構非常穩定，抗干擾性強
◆ 精密探針定位裝置，激光光斑對準調節非常簡便
◆ 單軸驅動樣品自動垂直接近探針，使針尖垂直于樣品掃描
◆ 馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品

◆ 超高倍光學定位系統，實現探針和樣品掃描區域精確定位
◆ 集成掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優于98%

技術參數



應用案例