工業型原子力顯微鏡

產品優勢

◆ 國內首先實現商業化生產的大尺寸工業型原子力顯微鏡；

◆ 掃描圖像時樣品保持不動，驅動探針進行XYZ三維移動測量成像；

◆ 樣品尺寸、重量幾乎不受限制，特別適合晶圓、光學玻璃等大樣品檢測；

◆ 樣品臺可拓展性強，非常便于進行多儀器聯用實現原位檢測；

◆ 一鍵式自動掃描，可任意編程多個測試點實現快速自動化檢測；

◆ 龍門架式掃描頭設計，大理石底座，真空吸附式載物臺；

◆ 馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能快速進針方式，保護探針及樣品；

◆ 一體化的機械振動減震及環境噪音屏蔽解決方案，極大降低系統噪音水平；

◆ 掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優于98%。

技術參數

應用案例